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이화학기기/과학기기이화학기기진공펌프ULVAC(JAPAN) 社 제품

 

 


 G-5


G-5DA 


 G-10DA


 G-25SA/G-20DA/
 G-50SA/ G-50DA 


G-100S/G-100D 


GHD-030


 GHD-060/GHD-120


 GVD-050A


 GVD-050A


 GLD-136A/GLD-136C
 GLD-201A/GLD-201B


 GMD-135


 GCD-051/GCD-136


1.소형 직결형 유 회전 진공펌프
(小型 直結型 油 回轉 眞空 Pump)
    (
Direct Drive Oil-Sealed Rotary Vacuum Pump)

1)G Series

  <특징〉
소형·경량으로 운반에 편리한 Compact 타입 입니다.
타회사 제품에 비해 흡인력이 우수합니다.
오랜 세월에 걸친 풍부한 실적과, 저가격을 실현한 기름 회전 진공 펌프의 타입 입니다.
 〈용도〉
데지게이타 배기/진공 건조/진공 여과/진공 농축 흡착/진공 지퍼/흡기 분석/가스 크로마토그래피/
소형 아스피레이터/치과용소성로/소형 공조기 배관 당겨 냉매 회수 /etc.

Model

배기속도
 ℓ/min

60 Hz)

도달 압력
pa

사용전동기

회전수

소요량
Oil

크기
(wxLxH)mm

G-5

6

4x103

1φ.25w

1,550 r.p.m

20cc/SMR-100

80x199x158

G-5DA
6
6.7

1φ.40w

 1,550 r.p.m

 180cc/SMR-100

 130x203x159

G-10DA
12
1.3

1φ.60w

 1,565 r.p.m

 250cc/SMR-100

 130x228x165

G-25SA
24
9.3

1φ.100w

 1,740 r.p.m

 230cc/SMR-100

 156x288x199

G-20DA
24
0.13

1φ.100w

 1,740 r.p.m

 180cc/SMR-100

 156x299x199

G-50SA
60
9.3

1φ.200w

 1,740 r.p.m

 260cc/SMR-100

 156x344x199

G-50DA
60
0.13

1φ.200w

 1,740 r.p.m

 260cc/SMR-100

 156x344x199

G-100S
120
9.3

1φ.400w

 1,740 r.p.m

 1,200cc/SMR-100

 173x460x264

G-100D
120
6.7×10-2

1φ.400w

 1,740 r.p.m

 800cc/SMR-100

 173x460x264

2)GHD,GVD,GLS,GLD,GMD Series
〈특징〉
G시리즈를 한층 그레이드 업 한 타입입니다.
가스 바라스트 기구에 의해, 수분등의 응축성 성분을 제거해, 펌프유중에 용해하는 것을 막습니다.
강제 급유기구에 의해 전 영역에서의 사용에 높은 신뢰성이 있습니다.
역류 방지 기구에 의해 펌프 정지시에 있어서의 기름의 역류를 막습니다.
GLS-051만 가스 바라스트 기구가 없고, 일단식이기 때문에 도달 압력은 타기종에 뒤떨어집니다만
염가로 저진동·저소음입니다.
GLD/GMD 시리즈는 큰 레벨 게이지로 기름의 더러움이 보기 쉬워지고 있습니다.
GLD-136·201/GMD-135는 유니버설 모터의 채용으로 온 세상의 전압에도 대응하겠습니다.
GLD-136/201은 CE마킹 자기 선언품입니다.
〈용도〉
전자현미경/X선분석/질량 분석/진공 농축/여과/원심분리/가스 분석/가스크로탈기/진공 건조/탈가스/탈포/사출 성형/진공 함침/스팩터/진공 증착/CVD/진공노/가스 분위기노/리크 디텍터/검사 장치/흡수식 냉동기/냉동기/공조기의 배관 내수분 제거/치과소성로/매몰재탈포/아스피레이터/레이저 메스/바륨탈포/진공팩/진공포장/라벨링/탈포/탈가스/진공 지퍼/가스 충전/레이저 기기/진공 성형/램프 배기/etc. 

Model

배기속도
 ℓ/min

60 Hz)

도달 압력
pa


사용전동기


회전수


소요량
Oil


크기
(wxLxH)mm

GHD-030
36
6.7×10-2

1φ.150w

3,260 r.p.m

 600cc/R-2

120x278x166

GHD-060
72
6.7×10-2

1φ.200w

3,300 r.p.m

 600cc/R-2

132x323x217

GHD-120
144
6.7×10-2

1φ.300w

3,300 r.p.m

 600cc/R-2

132x367x217

GVD-050A
60
6.7×10-2

1φ.200w

1,730 r.p.m

430cc/SMR-100

160x415x226

GLS-051
60
9.3

1φ.200w

1,740 r.p.m

700cc/SMR-100

165x365x222

GLD-040
48
6.7×10-2

1φ.200w

1,730 r.p.m

     800cc/R-2

150x427x228

GLD-051
60
6.7×10-2

1φ.200w

1,740 r.p.m

 800cc/SMR-100

165x399x222

GLD-136A
162
6.7×10-2

3φ.400W

1,730 r.p.m

1,000cc/MR-100

170x488x240

GLD-136C
162
6.7×10-2

1φ.400W

1,760 r.p.m

1,000cc/MR-100

170x488x250

GLD-201A
240
6.7×10-2

3φ.550W

1,730 r.p.m

1,100cc/MR-100

170x516x240

GLD-201B
240
6.7×10-2

1φ.550W

1,750r.p.m

1,100cc/MR-100

170x516x250

GLD-280
336
6.7×10-1

3φ.750w

-

 -

180x544x268

GMD-135
162
6.7×10-2

1φ.400w

1,745 r.p.m

1,0 00cc/SMR-100

170x473x255

3)GCD Series
 
〈특징〉
GLD-시리즈특징에 더해 특수 표면 처리를 가한 고 내식형 펌프입니다.
〈용도〉
화학공업, 반도체 업계, 의약품 업계등에서 사용하는 특수한 용액 혹은 특수한 가스를 취급하는 진공
인(引)에 최적인 펌프입니다

Model

배기속도
 ℓ/min

60 Hz)

도달 압력
pa

사용전동기

회전수

소요량
Oil

크기
(wxLxH)mm

GCD-051X
60
6.7×10-2

1φ.200w

1,740 r.p.m

500~800/SO-M

166x423x222

GCD-136X
336
6.7×10-2

 1φ.200w

 1,740 r.p.m

 1,000/SO-M

 170x493x241

GCD-201X
240
6.7×10-2

 3φ.750w

 1,740 r.p.m

 1,100/SO-M

 170x509x241

2.소형 드라이 진공 펌프

다이아프램형 드라이 진공 펌프(스탠다드 타입) (Diaphragm Type Dry Vacuum Pumps)

형식
배기 속도
L/min
(50/60 Hz)
도달 압력
Pa
 
DAL-5S
5/6
24.0×103
 

〈특징〉
기름을 사용하고 있지 않기 때문에 깨끗한 배기가 가능합니다.

멘테넌스가 용이하기 때문에 탁상용이나 대량생산 되는 장치의 조입용으로서 많은 용도로 사용되고
있습니다.
소형으로부터 대형 기종까지 갖추었습니다.용도에 따라 선택해 받을 수 있습니다.

〈용도〉
 분석 장치 산프라/데시케이타/wafer 핸들링 고정/핸들러/프로바/진공 건조/로봇/본다/파티클 카운터/기판 고정/반송/팁마운타/프린트 기판 실장/진공 핀셋/탈가스탈포/핸더 흡인/몰드 장치/오프셋 인쇄/
스크린 인쇄/잉크탈포/진공포장·봉투 막혀라/라벨링/지폐 카운터/자동 반송기·공작기 지퍼/아스피레이터/매몰기/탈포성형/멸균기/저주파 치료/산소 발생기/흡인기, 채뇨기/진공 보일러/리크 테스터/생화학 분석/브레이크배력 장치/etc.

DAP-6D
6/7 6.65×103
DAP-12S 12/14 24.0×103
DA-15S
12/15
26.6×103
DA-15D
12/15
6.65×103
DA-30S
24/30
26.6×103
DA-20D
20/24
5.3×103
DA-40S
40/46
19.9×103
DA-30D
30/36
6.7×103
DA-60S
60/72
21.3×103
DA-41D 40/46 3.3×103
DA-41DK 40/46 3.3×103
DA-81S 75/85 13.3×103
DA-81SK 75/85 13.3×103
DA-60D
60/72
3.32×103
DA-120S
120/144
13.3×103
DA-121D
120/145
3.3×103
DA-241S
240/260
16.0×103
DAT-50D
50/55
3.3×103
DAT-100S
100/110
13.3×103
DAL-181D
180/210
3.3×103
DAL-361S
360/390
17.3×103

다이아프램형 드라이 진공 펌프(감압·가압 양용 타입)
DAP-15
15/18
39.9×103
(감압·가압 양용 타입)
· 0.15 MPa까지의 가압이 가능한 감압·가압 양용 타입입니다.
DAP-30
30/36
33.3×103

다이아프램형 드라이 진공 펌프(고진공 타입)(
High Vacuum Diaphragm Type Dry Vacuum Pumps)
DAM-010
7/8
400
〈특징〉
· 오이르레스면서, 고진공을 실현한 펌프입니다.고진공이 필요하면서 오일펌프를 사용하고 싶지 않은 경우, 단시간에 일정한 진공도까지 배기하고 싶은 경우, 협소 장소의 흡착 가스를 흡인하고 싶은 경우 등에 적합합니다.
〈용도〉
잉크젯 충전/정밀 사출 성형/광역형 터보의 백/분석 기기/생화학 분석/가스 충전/진공 건조/증발기 /etc.
DAU-100
100/110
266
DAU-100H
100/110
1.0×103
DTU-20
20/23
0.2×103
MD4
50/60
260
MD8
100/120
260
MD4C
40/50
260
MD8C
80/96
260

다이아프램형 드라이 진공 펌프(케미컬 타입
)
DTC-21
20/24
1.0×103
〈특징〉
· 접가스 부재질PTFE.고진공·내식 타입.
· 내식성이 뛰어나 유기용매 가스를 직접 흡인할 수 있습니다.고가의 냉각 트랩은 불필요합니다.흡인 가스를 회수하기 위해서는, 배기 측에 수냉관을 설치하는 정도로 충분합니다.
· 고진공이기 때문에, 증기압의 낮은 가스에도 충분히 대응하겠습니다.
〈용도〉
로터리 증발기/진공 농축/진공 여과/원심분리/진공 건조/특수 가스 배기/충전/청정 가스 충전/유기용매 가스 흡인 배기 /etc.
DTC-21K
20/24
1.0×103
DTC-41
40/46
1.0×103
DTC-41K
40/46
1.0×103
DTC-60
60/70
1.0×103
DTC-120
120/140
1.0×103

요동 피스톤형 드라이 진공 펌프(
Rocking Piston Type Oil-less Vacuum Pumps)
DOP-9D
9.0/9.8
6.7×103
〈특징〉
· 스탠다드, 가압 전용, 감압·가압 양용의 각 타입이 있습니다.
· 가압 전용 타입은 소형의 압축기로서 이용하실 수 있습니다.
· 소모 부품이 적게 장수명입니다.
· 저진공 영역에서 안정된 압력을 얻을 수 있습니다.
〈용도〉
가스 분석/진공포장기 /진공포장/라벨링/흡인기/팁마운타/네프라이자/산소 농축/배기가스 분석/냉매 회수/가스 회수/치과 흡인기 /etc.
DOP-40D
40/44
1.2×103
DOP-80S
80/88
5.4×103
DOP-80SP
80/84
가압 전용
DOP-200S
200/220
8.0×103
DOP-50S4 50×4/55×4 8.0×103
DOP-100T 100/110 0.4×103
DOP-100ST 100/110 8.0×103
DOP-50DT 50/55 1.2×103
DOP-50F 50/55 0.27×103
DOP-300S 300/330 8.0×103
DOP-150T 140/160 0.4×103
DTP-45D
45/49
2.7×103
DTP-90S
90/99
9.3×103
DTP-90D
90/99
2.7×103
DTP-180S
180/198
10.0×103
DTP-180SQ
180/198
10.0×103

회전익형 드라이 진공 펌프(
Sliding Vane type Oil-less Vacuum Pumps)
DSB-151
180/200
15.0×103
〈특징〉
· 다른 방식의 드라이 펌프에 비교 대용량(고배기 속도) 형의 펌프입니다.
· 한층 더 다른 방식으로 비교 맥동이 적고, 고속으로 흡착을 반복하는 용도에 적절합니다.
〈용도〉
팁마운타/전자 부품 실장 장치/아스피레이터/자동 반송기/포장기/파티클 카운터/패킹 머신/테이프 감아 /etc.
DSB-251
250/310
15.0×103
DSB-451
430/530
12.0×103
DSB-601
600/700
12.0×103

스크롤형 드라이 진공 펌프
DIS-090 90/108 5.0 〈특징〉
· 오이르레스면서 오일펌프 수준의 고진공을 얻을 수 있습니다.
· 배기 속도가 크고 깨끗한 고진공이 가능합니다.
· 오일의 관리가 불필요하기 때문에, 오일펌프에 비교 멘테 비용이 저감.에너지 코스트도 대폭 저감 됩니다.
〈용도〉
터보의 백/진공 증착/스팩터/이온 주입/전자현미경/각종 분석 장치/액정 주입/ 로드 락실배기/진공 건조/플라스마 클리너 /etc.
DIS-250 250/300 1.6
DIS-500 500/600 1.0
DVT-300
300
6.7
DVS-321
265/320
1.5
DVS-631
525/630
1.0
DISL-100 100/120 50.0
DISL-500 430/520 10.0
주)스크롤형의 배기 속도는 설계 배기 속도를 표시하고 있습니다.

메카니컬 부스터 펌프(
Mechanical Booster Pumps)
 
MBS-010
167/200
4.0×10-2
〈특징〉
 백 펌프와의 편성에 의해, 기름 회전 진공 펌프를 넘는 고진공을 얻을 수 있습니다.배기 속도가 매우 빨리, 고속/고진공이 필요한 용도에 적절합니다.
 〈용도〉
레이저 기기/가스 순환기/액정 주입 장치/진공 건조/진공탈포/진공 열처리/가스 분위기노/리크 테스터 /etc.
MBS-030
500/600
4.0×10-2
MBS-050
833/100
4.0×10-2

 

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