●본체(XPs-7) 1대로 센스만을 교환하는 것으로 여러가지 가스의 검지가 가능.
●경보음이 가스 농도에 맞추어 변화.가스 농도가 낮으면 단속음, 높아지면 단속음의 간격이 짧아져,
  연속음에 변화함.
●건전지·AC전원 어느쪽이나 사용할 수 있습.
●반도체 재료가스를 정밀하게 검지：신뢰성이 매우 높은 정전위 전해식 센서사용, 유기용제(에탄올,    토루엔, 키시린 등)에 의한 영향이 적고 각종 반도체 재료 가스를 정도높게 측정
●보기 편리한 디지털 표시：디지털 표시창이 크므로 읽기에 편리
●자동 흡입식：독자적인 마이크로 에어 펌프에 의한 자동흡입식 으로 조작이 간편
●개스 유입관을 테프론 호스로 사용：유입관 및 흡입파이프 등에 테프론을 사용하여 가스 흡착에
   의한 영향을 받지 않음.

MODEL

대상가스

검지범위

최소눈굼

경보설정치

XDS-7NH

NH₃/암모니아

0~100ppm

1ppm

50ppm

XDS-7SH

Mono-Silane(SiH₄)/실레인

0~25ppm

0.1ppm

5.0ppm

XDS-7DC

Dichlor Silane(SiH₂Cl₂)/디클로로실란

0~25ppm

0.1ppm

5.0ppm

XDS-7AS

Arisine(AsH3)/아르신

0~250ppb

10ppb

50ppb

XDS-7PH

Phosphine(PH3)/인화수소

0~1ppm

0.01ppm

0.30ppm

XDS-7BH

Diborane(B₂H₆)/디보란

0~500ppb

10ppb

100ppb

XDS-7SE

Selenide 수소(H₂Se)
하이트로젠셀레나이드)

0~250ppb

10ppb

50ppb

XDS-7GH

Mono Gell Mann(GeH₄)
사 수소화 게르마늄)

0~1ppm

0.01ppm

0.3ppm

XDS-7CL

CL₂/염소

0~5ppm

0.1ppm

1.0ppm

XDS-7CF

CLF₃/불소화염소

0~1ppm

0.01ppm

0.20ppm

XDS-7HC

HCL/염화수소

0~25ppm

0.1ppm

5.0ppm

XDS-7HF

HF/불화수소

0~10ppm

0.1ppm

3.0ppm

XDS-7HB

HBr/브롬화수소

0~10ppm

0.1ppm

3.0ppm

XDS-7NO

NO/일산화질소

0~100ppm

1ppm

30ppm

XDS-7HS

H₂S/황화수소

0~50ppm

1ppm

10ppm

XDS-7CO

CO/일산화탄소

0~250ppm

1ppm

50ppm

XDS-7DS

Si₂H₂/다실린

0~25ppm

0.1ppm

5ppm

XDS-37F2

F₂/불소

0~5ppm

0.1ppm

1.0ppm

XDS-7OZ

O₃/오존

0~1ppm

0.01ppm

0.3ppm